Напајање за средње фреквентно распршивање серије MSB

Напајање за распршивање средње фреквенције серије MSB Истакнута слика

Кратак опис:

РФ напајање серије RHH ослања се на зрелу технологију генерисања РФ-а како би купцима пружило РФ напајање са већом снагом, већом прецизношћу и брзим одзивом. Са могућношћу подешавања фазе, контроле импулса, дигиталног подешавања и других функција. Применљиве области: фотонапонска индустрија, индустрија равних дисплеја, индустрија полупроводника, хемијска индустрија, лабораторија, научна истраживања, производња итд.

Применљиви процеси: хемијско таложење из парне фазе побољшано плазмом (PECVD), плазма нагризање, плазма чишћење, радиофреквентни јонски извор, плазма дифузија, плазма полимеризационо распршивање, реактивно распршивање итд.

Детаљи производа

Ознаке производа

Пошаљите нам имејл

Карактеристике

● Модели за пола цигле и монтажу у рек

● Усвојите потпуно дигиталну контролу, са практичним и богатим менијем за рад

● Функције подешавања фреквенције, импулса и синхронизације импулса

● Са CEX функцијом фазне синхронизације

● Савршена заштитна функција

Детаљи производа

Унос	Улазни напон: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Посебне спецификације се могу прилагодити)
Унос	Улазна фреквенција: 47~63Hz
Излаз	Излазна фреквенција: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Опсег подешавања: ±5%
	Излазна снага: 1,5~5 kW
	Опсег регулације излазне снаге: 1~100%
	Излазна импеданса: 50Ω+j0
	Излазни интерфејс: тип N
	Излазни режим: континуирани, импулсни
	Фреквенција импулса: 100Hz~100kHz
	Радни циклус: 5~95%
Индекс учинка	Фактор снаге: 0,98
	Тачност фреквентне стабилности: ±0,005%
	Ефикасност: 75% (при номиналној снази)
	Хармоник: <-45dBc
	Расуто: <-50dBc
	Спољни контролни интерфејс: аналогна количина, комуникација и синхронизација
	Режим комуникације: Стандардни RS485 комуникациони интерфејс; Опционо Ether CAT, индустријски Ethernet, итд.
Напомена: производ се стално унапређује и перформансе се стално побољшавају. Овај опис параметра је само за референцу.