Напајање средње фреквенције МСБ серије
-
Напајање средње фреквенције МСБ серије
РФ напајање серије РХХ се ослања на зрелу технологију РФ генерисања како би купцима обезбедило РФ напајање са већом снагом, већом прецизношћу и брзим одзивом.Са фазом се може подесити, пулсно контролисано, дигитално подешавање и друге функције.Применљива поља: фотонапонска индустрија, индустрија равних дисплеја, индустрија полупроводника, хемијска индустрија, лабораторија, научна истраживања, производња итд.
Применљиви процеси: плазма побољшано хемијско таложење паре (ПЕЦВД), нагризање плазмом, чишћење плазмом, радиофреквентни јонски извор, дифузија плазме, распршивање полимеризацијом плазме, реактивно распршивање итд.