Таложење
Стекните увид и убрзајте процес развоја.
Адванцед Енерги испоручује решења за напајање и контролу за критичне апликације наношења танког филма и геометрије уређаја.Да бисте решили изазове обраде плочица, наша решења за прецизну конверзију снаге вам омогућавају да оптимизујете тачност напајања, прецизност, брзину и поновљивост процеса.
Нудимо широк спектар РФ фреквенција, ДЦ системе напајања, прилагођене нивое излазне снаге, технологије упаривања и решења за праћење температуре помоћу оптичких влакана која вам заиста омогућавају бољу контролу процесне плазме.Такође интегришемо Фаст ДАК™ и наш пакет за прикупљање података и приступачност да бисмо пружили увид у процес и убрзали процес развоја.
Сазнајте више о нашим производним процесима полупроводника да бисте пронашли решење које одговара вашим потребама.
Ваш изазов
Од филмова који се користе за обликовање димензија интегрисаног кола до проводљивих и изолационих филмова (електричне структуре), до металних филмова (међусобно повезивање), ваши процеси таложења захтевају контролу на атомском нивоу — не само за сваку карактеристику већ и за целу плочицу.
Осим саме структуре, ваши депоновани филмови морају бити високог квалитета.Морају да поседују жељену структуру зрна, униформност и конформну дебљину и да буду без шупљина — а то је поред обезбеђивања потребних механичких напона (притисак и затезање) и електричних својстава.
Сложеност се само повећава.Да би се решила ограничења литографије (чворови испод 1Кс нм), технике самоусклађеног двоструког и четвороструког узорковања захтевају ваш процес депозиције за производњу и репродукцију узорка на свакој плочици.
Наше решење
Када примењујете најкритичније апликације за таложење и геометрије уређаја, потребан вам је поуздан лидер на тржишту.
Адванцед Енерги испорука РФ снаге и технологија велике брзине усклађивања омогућавају вам да прилагодите и оптимизујете тачност снаге, прецизност, брзину и поновљивост процеса потребне за све напредне ПЕЦВД и ПЕАЛД процесе депозиције.
Користите нашу технологију генератора једносмерне струје да бисте фино подесили свој подесиви одговор на лук, тачност снаге, брзину и поновљивост процеса потребне ПВД (спуттеринг) и ЕЦД процесе таложења.
Предности
● Побољшана стабилност плазме и поновљивост процеса повећавају принос
● Прецизна РФ и ДЦ испорука са потпуном дигиталном контролом помаже у оптимизацији ефикасности процеса
● Брз одговор на промене плазме и управљање луком
● Пулсирање на више нивоа са прилагодљивим подешавањем фреквенције побољшава селективност брзине нагризања
● Доступна је глобална подршка како би се осигурало максимално време рада и перформансе производа