Депозиција
Стекните увид и убрзајте процес развоја.
Адвансед Енерџи испоручује решења за напајање и управљање за критичне примене наношења танких филмова и геометрије уређаја. Да би се решили изазови обраде плочица, наша решења за прецизну конверзију снаге вам омогућавају да оптимизујете тачност снаге, прецизност, брзину и поновљивост процеса.
Нудимо широк спектар РФ фреквенција, система једносмерне струје, прилагођених нивоа излазне снаге, технологија подударања и решења за праћење температуре оптичким влакнима која вам заиста омогућавају бољу контролу процесне плазме. Такође интегришемо Fast DAQ™ и наш пакет за прикупљање и приступачност података како бисмо пружили увид у процес и убрзали процес развоја.
Сазнајте више о нашим процесима производње полупроводника како бисте пронашли решење које одговара вашим потребама.
Ваш изазов
Од филмова који се користе за обликовање димензија интегрисаних кола, преко проводних и изолационих филмова (електричне структуре), до металних филмова (међусобно повезивање), ваши процеси наношења захтевају контролу на атомском нивоу — не само за сваку карактеристику већ и за целу плочицу.
Поред саме структуре, ваши депоновани филмови морају бити високог квалитета. Морају поседовати жељену структуру зрна, уједначеност и конформну дебљину, и бити без шупљина — а то је поред тога што обезбеђују потребна механичка напрезања (компресивна и затезна) и електрична својства.
Сложеност само наставља да расте. Да би се решила ограничења литографије (чворови испод 1X nm), технике самопоравнавања двоструког и четвороструког обликовања захтевају да ваш процес наношења произведе и репродукује образац на свакој плочици.
Наше решење
Када примењујете најкритичније апликације за депозицију и геометрије уређаја, потребан вам је поуздан лидер на тржишту.
Технологија испоруке РФ снаге и брзог подударања компаније Advanced Energy омогућава вам да прилагодите и оптимизујете тачност снаге, прецизност, брзину и поновљивост процеса потребне за све напредне PECVD и PEALD процесе наношења.
Користите нашу технологију DC генератора за фино подешавање вашег конфигурабилног одзива лука, тачности снаге, брзине и поновљивости процеса, потребних за PVD (распршивање) и ECD процесе наношења.
Предности
● Побољшана стабилност плазме и поновљивост процеса повећавају принос
● Прецизна испорука РФ и једносмерне енергије са потпуно дигиталном контролом помаже у оптимизацији ефикасности процеса
● Брз одзив на промене плазме и управљање луком
● Вишестепено пулсирање са адаптивним подешавањем фреквенције побољшава селективност брзине нагризања
● Глобална подршка је доступна како би се осигурало максимално време рада и перформансе производа